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        0512-62996345
    
      
  
      
  
  
      

      


      

      
	

      

        
        
        

    
      

      

      


      

      

      
  
      
    	
      
        	
      
            
      
        	
      
            	
      FIB
      
                
      
            
      
            
      
      
      
        
      
          
        
            
      • 產品介紹
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        　　FIB，聚焦離子束，使用聚焦良好的離子束對樣品進行修改并且取得圖像。FIB主要是通過SEM、STEM、TEM成像之后，取得非常精確地樣品截面或者是執行電路修改。
        


        技術參數
        
• 電子束系統分辨率:  1.1nm(20kV)/1.5nm(10kV)/2.5nm(1kV)
        
• 離子束系統分辨率: 5nm(30kV,1pA)
        
• 電子束加速電壓: 0.1-30 kV
        
• 離子束加速電壓: 0.5-30 kV
        
• 電子束流: 4pA-100nA
        
• 離子束流: 1pA-50nA