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　　使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術，可用來測量直徑可達200毫米的半導體硅片、刻蝕掩膜、磁介質、CD/DVD、生物材料、光學材料和其它樣品的表面特性。它的激光點定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。

技術參數(shù)
• 樣品臺直徑：210mm  
• 樣品厚度：最大為10 mm 
• 樣品尺寸：≤40 mm
• 掃描范圍 ：XY方向80μm×80μm，Z方向5μm 
• 分辨率：0.1nm  
• Z閉環(huán)噪音：＜30pm