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        0512-62996345
    
      
  
      
  
  
      

      


      

      
	

      

        
        
        

    
      

      

      


      

      

      
  
      
    
    
    
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      晶圓切割水為啥要加二氧化碳
      
                    
      時間：2022-06-21
      
                
      
       	    	
      由于晶圓在切割的過程中會產生熱量，所以常見的晶圓切割通常用去離子水來進行冷卻。
      


      


      我們使用去離子水沖洗晶圓切割刀片不難可以有效防止水中的可移動離子對晶圓造成污染，影響后續的工藝；而且水越純電阻率越高，導電性越差，高速沖擊下比較容易產生靜電，在去離子水中加入二氧化碳可以有效防止靜電。