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晶圓切割過(guò)程中可能會(huì)發(fā)生崩邊現(xiàn)象，大概分為三種類型初期chipping、重復(fù)循環(huán)chipping 、其他chipping,產(chǎn)生的原因不同。初期chipping一般是因?yàn)榈镀惭b傾斜，刀片未修成真圓，這種情況只需要檢查刀片安裝精度，重新進(jìn)行預(yù)切割既可。循環(huán)chipping則是因?yàn)榈镀砻媸艿經(jīng)_擊，刀片表面有大顆粒金剛石突起，這種情況需要檢查刀片表面合理解決即可。